DRIE

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基本釋義

abbr.
deep reactive ion etching 深反應(yīng)離子蝕刻

實用例句

The micro - actuators are fabricated by use of DRIE on SOI wafer.

本文中的微執(zhí)行器采用深層反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)技術(shù)在硅隔離襯底(SOI)硅片上制作.

互聯(lián)網(wǎng)

The rooting effect of the structure in deep reactive ion etching ( DRIE ) process was investigated.

給出了加速度計的制作工藝流程,研究了解決深 反應(yīng)離子刻蝕 過程中的過刻蝕現(xiàn)象的方法.

互聯(lián)網(wǎng)

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